Die spezifische Oberfläche wird üblicherweise unter Verwendung der BET-Theorie aus den Daten der Gasadsorptionsisotherm berechnet. Das Modell der BET-Theorie besagt, dass das Adsorptionsmittel zuerst an den Stellen der stärksten Energie auf der Oberfläche zu adsorbieren beginnt. Wenn nun der Druck erhöht wird, ist Adsorption auch an den Stellen des nächsten Energieniveaus zu beobachten. Dieses Modell berücksichtigt so auch die Adsorption der 2., 3. und höheren Schicht.
Die BET-Theorie für die Mehrschichtadsorption ist eine Erweiterung der Langmuir-Gleichung, die für die Einzelschicht-Adsorption gilt.
Diese Theorie passt gut zu Isothermen vom Typ II und IV mit einem relativen Druck zwischen 0,05 und 0,35. Die Monoschicht-Adsorptionsmenge (Vm) und der C-Parameter werden aus der Steigung und dem Schnittpunkt der BET-Auftragung unter Verwendung der Anpassung des kleinsten Quadrates berechnet. Der C-Parameter stellt die Oberflächenwechselwirkungsenergie dar, welcher einen positiven Wert haben muss.
Die spezifische Oberfläche wird aus der Monoschicht-Adsorptionsmenge (Vm) und der Querschnittsfläche (σ) berechnet.